檢索結果：共15筆資料 檢索策略： "Yong-Lin Kuo".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="郭鴻飛"
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在半導體奈米量測自動化設備中，光學散射量測儀被視為取代傳統電子顯微鏡擷取微影圖案關鍵尺寸的重要技術，光學散射量測法的優點包含：量測速度快約為現有電子顯微鏡的三倍，可重複性量測同一微影圖案之關鍵尺寸，…
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As semiconductor especially IC industries continue to push to smaller device (smaller feature size)…
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本研究主要為將徑向基函數網路(radial basis function networks, RBFN)應用於同調傅立葉散射儀(coherent Fourier scatterometry, CFS…
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印刷電路板（Printed Circuit Board, PCB）在所有的電子產品中用來將所有功能不同的積體電路及電子元件以一條條細細的銅導線連接起來，以提供穩定的工作環境，讓電子訊號可以在不同的電…
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傳統的印刷電路板(printed circuit board, PCB)微影製程中，主要以具有光罩的鄰近式(proximity)或接觸式(contact)的曝光方式在光阻上進行曝光製程。然而，製作光…
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微影製程有兩項重要指標，一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上，二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…
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本論文致力於分析六軸串連式機械手臂的路徑規劃。傳統的路徑規劃是以初始位置，末位置及軌跡長短來做計算。應用一個修正的滑動模型控制器取代傳統的PID控制器。修正的滑動模型控制是要解決傳統滑動模型控制器的…
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以光點陣列掃描 (Point Array Scanning) 成像的數位微影系統，使用數位微反射鏡裝置(Digital Micromirror Device, DMD)作為產生光點陣列的元件，透過控…
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在各國因應物聯網、大數據、高效能運算等的市場開發，仰賴大量DRAM 元件所需要大量計算及記憶體空間，隨著對DRAM 的需求增加和引入升級產品的需求，DRAM 市場將在未來幾年見證增長，全球市場競爭激…
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軟性印刷電路板(FPCBs)主要功能是將各種電子零組件，提供置放及連結的功能，是由聚亞醯胺(PI)或聚酯(PET)軟性材料為基材所組成的電路板，軟性印刷電路板發展趨勢為可撓性、輕量化、減少擺放空間，…